MEMS Introduction and Fundamentals کتاب سیستم های MEMS

       هندبوک MEMS Introduction and Fundamentals     فناوری MEMS یا فناوری سیستم های میکرو الکترو مکانیکی، شامل بکار گیری سیستم های مکانیکی، حسگرها، عملگرها، محرک ها و قطعات الکترونیکی می باشد که معمولا بر روی یک صفحه ای از جنس سیلیکون با کمک فناوری ساخت تراشه‌های میکرونی ساخته می شود. در واقع MEMS نوعی ریزفناوری‌ محسوب می شود که سیستم‌ های میکرو‌ الکترو مکانیکی در واقع قسمتی از قطعات مکانیکی،...