نرم افزار MEMS Pro v11 طراحی و تحلیل سیستم‌های میکرو الکترومکانیکی

نرم افزار MEMS Pro یک مجموعه ابزار CAD انعطاف پذیر، قدرتمند و با کاربری آسان برای طراحی و تجزیه و تحلیل سیستم‌های میکرو الکترومکانیکی (MEMS) است. نرم افزار MEMS Pro محصول شرکت SoftMems یک راه حل یکپارچه و کامل برای فرآیند طراحی ارائه می‌دهد به گونه‌ای که زمان توسعه را کوتاه می‌کند و در عین حال تجزیه و تحلیل مورد اعتماد به طراحان جهت ساخت ارائه می‌دهد. از نرم افزار MEMS Pro در کاربردهای تصویربرداری و شبیه‌سازی شماتیک ترکیبی MEMS/IC، قابلیت طرح‌بندی و تأیید کامل ماسک سفارشی، تولید و تجسم مدل سه بعدی، ایجاد مدل رفتاری و پیوند به بسته‌های تحلیل سه بعدی استفاده می‌شود.

نرم افزار MEMS Pro قابلیت طراحی در سطح سیستم را از طریق تصویربرداری کاملاً سلسله مراتبی و شبیه سازی سطح رفتاری دستگاه‌های MEMS با لوازم الکترونیکی ارائه می‌دهد. دستگاه‌های MEMS با سیگنال‌های چند فیزیک در حوزه‌های مکانیکی، حرارتی، مغناطیسی، سیال، نوری و الکترواستاتیک نمایش داده می‌شوند. مدل‌های MEMS در زبان‌های رفتاری سطح بالا، SPICE، C-code یا جداول داده نمایش داده می‌شوند. حالت‌های شبیه سازی شامل AC، نقطه عملیاتی DC، جابجایی انتقال DC، فوریه، نویز، گذرا، تابع انتقال و جابجایی پارامتریک است. علاوه بر این، الگوریتم‌های بهینه‌سازی قدرتمند پارامترهای دستگاه یا فرآیند را تعیین می‌کنند که عملکرد طراحی MEMS را بهینه می‌کنند.

بیشتر بخوانید: نرم افزار طراحی و تحلیل سیستم‌های میکروالکترومکانیکی IntelliSuite 9

یکی از مهم‌ترین ویژگی‌های نرم افزار MEMS Pro این است که با کمک تجزیه و تحلیل آماری به طراحان اجازه می‌دهد تا قسمتی از فرآیند را شبیه‌سازی کنند، شبیه‌سازی‌های مونت کارلو (Monte Carlo) را با توزیع‌های آماری پارامترهای فرآیند و هندسی اجرا کنند، مدل‌های سطح پاسخ را ایجاد کنند و تجزیه و تحلیل حساسیت را انجام دهند تا بفهمند کدام پارامترهای هندسی یا فرآیندی بیشترین تأثیر را بر عملکرد دستگاه و برآورد بازده دارند.

نرم افزار  MEMS Pro امکان ایجاد و اصلاح آسان شماتیک ها را فراهم می‌کند و لیست‌های شبکه‌ای را برای شبیه سازی، بهینه سازی، تجزیه و تحلیل آماری و تأیید طرح با ترکیب MEMS و طراحی IC تولید می‌کند. محیط شبیه‌سازی یکپارچه به کاربران اجازه می‌دهد تا سیگنال‌های مورد مطالعه را بر روی شماتیک بررسی کنند و نتایج شبیه‌سازی و شکل‌های موج نمایش داده شوند. کاربران همچنین می‌توانند به راحتی محاسبات و محاسبات شکل موج را انجام دهند.

ابزارهای مدل‌سازی MEMS Modeler

نرم افزار MEMS Pro بطور خودکار مدل‌های رفتاری آماده برای شبیه‌سازی سیستم با الکترونیک و بسته‌بندی را از داده‌های سه بعدی از بسته‌های آنالیز تولید می‌کند. مدل‌های پیچیده و اجزای محدود که شامل تعداد زیادی درجات آزادی است به چند درجه آزادی اصلی کاهش می‌یابد. کاربران همچنین می‌توانند مدل‌های خود را از معادلات تحلیلی ایجاد کنند و این ابزار توضیحات آماده شبیه‌سازی را در انواع فرمت‌های محبوب تولید می‌کند.

یک رابط قدرتمند برای خودکارسازی، سفارشی سازی و گسترش دستورات ویرایشگر طرح بندی و مجموعه عملکرد با استفاده از زبان C گنجانده شده است. فرمت‌های خروجی محبوب پشتیبانی می‌شوند، بنابراین طرح‌های ماسک آماده ریخته‌گری هستند.

ماژول 3D Solid Modeler

ابزار 3D Solid Modeler یک نمای سه بعدی از یک دستگاه MEMS را از طرح بندی دستگاه و شرح فرآیند ساخت ایجاد می‌کند. یک رابط کاربری گرافیکی آسان به طراحان اجازه می‌دهد تا مراحل و توالی‌های فرآیند ساخت را وارد کنند. مراحل فرآیند ریزماشینکاری سطحی و حجیم مانند رسوب مواد، اچ، پرداخت مکانیکی، انتشار، رشد، آبکاری و مراحل دستکاری ویفر پشتیبانی می‌شود. مدل سه بعدی ممکن است مقیاس بندی شود و زیر مجموعه‌ای از لایه‌های ماسک ممکن است برای مشاهده انتخاب شود.

این نرم افزار دارای ماژول های مختلفی می باشد که شامل موارد زیراست:

LVS Tanner EDA

S-Edit

T-Spice

Wave Tools

W-Edit

برای مشاهده اطلاعات کامل نرم افزار MEMS Pro به منظور طراحی و تجزیه و تحلیل سیستم‌های میکرو الکترومکانیکی (MEMS) به اینجا مراجعه کنید.

در ادامه عکس هایی از محیط نرم افزار MEMS Pro نشان خواهیم داد.