Keysight WaferPro 2023 اندازه‌گیری ویفرهای نیمه‌هادی

Keysight WaferPro یک پلتفرم یکپارچه و خودکار برای اندازه‌گیری در سطح ویفر (wafer-level) دستگاه‌های نیمه‌رسانا مانند ترانزیستورها است. این ابزار با فراهم کردن مجموعه‌ای از درایورهای آماده (turnkey drivers) و ماژول‌های تست از پیش‌تعریف‌شده برای اندازه‌گیری‌های DC، CV، S-پارامتر، نویز و 1/f، امکان اجرای سریع و قابل تکرار طرح‌های تست را در پروبرها و انکلوژرهای شناخته‌شده مثل Cascade Microtech فراهم می‌کند.

معماری نرم افزار Keysight WaferPro شامل واسط کاربری بصری برای تعریف نقشه ویفر (wafer map)، ترتیب اجرای طرح تست (test-plan sequencer)، و کنترل دما، موقعیت‌دهی ویفر و شرایط آزمون با حداقل نیاز به دخالت کاربر است. افزون بر این، محیط برنامه‌نویسی Python و زبان PEL (IC-CAP Programming Extraction Language) اجازه می‌دهد تا تست‌های سفارشی، پردازش پساتستی و شرط‌های Pass/Fail تعریف و اجرا شوند. داده‌های حاصل قابل ذخیره‌سازی در فرمت‌های استاندارد مانند ASCII، SQL، MDM یا MEA بوده و به‌راحتی برای مراحل مدل‌سازی یا تحلیل آماری قابل استفاده می‌باشند.

قابلیت‌های نرم افزار Keysight WaferPro

• اندازه گیری خودکار DC، CV، S-پارامتر، نویز حرارتی و 1/f در سطح ویفر |  Automated wafer-level DC, CV, S-parameter, noise measurements
• پشتیبانی از پروبرهای Cascade، MPI و سیستم‌های دمایی چندنقطه‌ای |  Prober and thermal chuck integration
• تعریف نقشه ویفر و ایجاد توالی تست چندمرحله‌ای با کنترل موقعیت دقیق |  Wafer mapping and test sequencing
• برنامه نویسی سفارشی با Python و PEL برای ایجاد الگوریتم‌های اختصاصی |  Python/PEL test customization
• ذخیره سازی داده در فرمت‌های استاندارد ASCII، SQL، MDM و MEA برای تحلیل بعدی |  Standardized data storage
• یکپارچگی با IC-CAP و MBP برای مدل سازی و استخراج پارامترهای دستگاه  |  Seamless integration with IC-CAP/MBP
• پشتیبانی از الگوریتم‌های Pass/Fail و آنالیز بلادرنگ نتایج  |  Real-time Pass/Fail analysis
• کنترل دقیق دما از -60°C تا +300°C برای تست‌های وابسته به حرارت  |  Temperature-dependent measurement control
• محیط گرافیکی کاربرپسند برای مدیریت ایستگاه تست و نمایش داده  |  Intuitive GUI for probe station management
• امکان تست خودکار صدها دیوایس در نقشه ویفر با حداقل دخالت اپراتور  |  High-throughput automated wafer testing

کاربردهای تخصصی در صنعت

• اعتبارسنجی فرآیند فناوری‌های CMOS، GaAs، GaN و SiC در سطح ویفر
• استخراج پارامترهای مدل‌های SPICE و کامپکت برای طراحی مدارات آنالوگ و RF
• بررسی تغییرات فرایندی (Process Variation) و انجام آنالیز آماری روی نمونه‌های ویفر
• توصیف رفتار نویز و پارازیت در دستگاه‌های فرکانس بالا و توان بالا
• کاهش هزینه و زمان توسعه فناوری نیمه رسانا با اتوماسیون کامل تست

برای مشاهده اطلاعات کامل نرم افزار Keysight WaferPro جهت اندازه‌گیری ویفرهای نیمه‌هادی به اینجا مراجعه کنید.