CoventorWare طراحی سیستم‌های میکروالکترومکانیکی MEMS

CoventorWare مجموعه‌ای از نرم افزارها و حلگرهای قوی جهت تحلیل مسائل میکروالکترومکانیکی (MEMS) ارائه می‌دهد. نسخه جدید این نرم افزار با نام CoventorMP ارائه شده است. نرم افزار CoventorMP نقاط قوت مکمل ابزارهای نرم افزاری پیشرو در صنعت برای طراحی ادوات MEMS می‌باشد. پلتفرم نرم افزار CoventorWare برای تسهیل مدل‌سازی دقیق طراحی شده است و همزمان امکان مدل‌سازی فشرده یا کاهش‌یافته بهبود عملکرد را فراهم می‌کند. طرح‌های وارد شده در CoventorMP می‌توانند به‌عنوان یک طرح اصلی برای همه انواع مدل‌سازی عمل کنند و نیاز به زمان‌بر و انتقال دستی بین محیط‌های مدل‌سازی مختلف را از بین ببرد.

نرم افزار CoventorWare به‌عنوان بخشی از پلتفرم یکپارچه CoventorMP®، یک ابزار پیشرفته شبیه‌سازی MEMS (سیستم‌های میکروالکترومکانیکی) با مقاومتی بالا است که شامل مجموعه‌ای از حل‌گرها و ابزارهای پیش‌پردازش و پس‌پردازش مهندسی طراحی شده برای تحلیل ساختارهای پیچیده می‌شود. این مجموعه امکان مدل‌سازی دقیق رفتار چندفیزیکی با استفاده از FEM/BEM هیبریدی را فراهم می‌کند—بدون نیاز به شبکه‌بندی مجدد محیط اطراف (مانند فضای هوا) و با تلفیق دقیق مکانیک، الکترواستاتیک، پیزوالکتریک، پیزورزیستیو و اتلاف حرارتی.

علاوه بر این، CoventorWare از مدل‌های طراحی پارامتریک MEMS+ پشتیبانی می‌کند و قابلیت طراحی با اجزای از پیش تعریف‌شده را دارد که امکان شبیه‌سازی سریع و تحلیل حساسیت را تسهیل می‌کند. تطبیق با MATLAB/Simulink و Cadence Virtuoso، تولید مدل‌های reduced-order (ROM)، تحلیل پدیده هایی مانند Pull-in، Lift-off، اثرات حرارتی و پاسخ فرکانسی غیرخطی، از ویژگی‌های برجسته‌ی آن هستند که طراحی سیستم‌های MEMS را از ایده تا تولید بهینه می‌کند.

قابلیت‌های نرم افزار CoventorWare

• حل هماهنگ چندفیزیکی (FEM/BEM Hybrid Multi-Physics Solvers) — تحلیل مکانیکی، الکترواستاتیک، پیزوالکتریک و حرارتی.

• مدل‌سازی پارامتریک از طریق MEMS+ — ساخت مدل‌های پارامتریک قابل شبیه‌سازی سریع.

• شبیه‌سازی Pull-in و Lift-off (دستکاری الکترواستاتیک پویا).

• تحلیل فرکانسی غیرخطی و هارمونیک — شامل فرکانس‌سنجی سریع BAW.

• مدلسازی damping گازی — با استفاده از معادلات Stokes و Reynolds.

• تحلیل اثرات حرارتی و thermo-elastic damping بر عملکرد دستگاه.

• شبیه‌سازی PZR (پیزورزیستیو) و اثرات سنسور — بررسی اثرات حساسیت سنسور.

• ادغام با MATLAB/Simulink و Cadence برای شبیه‌سازی سیستم — ایجاد ROM و PCells.

• پروفایل‌یابی تنش محلی و تحلیل تماس — شبیه‌سازی دقیق مناطق بحرانی.

• گرافیک و پیش‌پردازش Layout-to-3D — تبدیل مستقیم از طرح دوبعدی به مدل سه‌بعدی.

بیشتر بخوانید: نرم افزار MEMS Pro v11 طراحی و تحلیل سیستم‌های میکروالکترومکانیکی

CoventorWare فیزیک پیزوالکتریک و مکانیکی را برای پیش‌بینی دقیق پاسخ فرکانسی دستگاه‌هایی مانند تشدیدکننده‌های صوتی یا دستگاه‌هایی که از فیزیک پیزو برای سنجش و فعال‌سازی استفاده می‌کنند، مانند برداشت‌کننده‌های انرژی، جفت می‌کند. همچنین شبیه‌سازی حالت‌های حجیم با فرکانس بالا در تشدید کننده‌های PZE،FBAR، LVR، و غیره در این نرم افزار قابل اجرا می باشد.

Parametric Design Entry

   – Capable of accommodating most layout-based or component-based design methodologies

Rapid Design & Integration

   – Construct highly efficient compact finite element models with MEMS+ using MEMS-specific building blocks

Detailed Device Analysis

   – Utilize a suite of field solvers in CoventorWare for modeling and simulating a wide range of MEMS devices

MEMS Process Design Kits (PDK)

   – Create “first time right” designs for a proven MEMS technology with Coventor’s MEMS PDK development services

نرم افزار MEMS+

نرم افزار MEMS+ یک محیط یکپارچه را برای مهندسانی که دستگاه‌های MEMS را طراحی می‌کنند و MEMS را با سیستم‌ها و مدارها ادغام می‌کنند، فراهم می‌کند. این برای طراحی و بهینه سازی دستگاه‌های MEMS که برای سنجش و تحریک به الکترواستاتیک وابسته هستند ایده آل است. همچنین از سنسورها و محرک‌های پیزو الکتریک پشتیبانی می‌کند.

با کمک نرم افزار MEMS+ می‌توان از ابزارهای تحلیل المان محدود معمولی تا 100 برابر سریعتر از حد ممکن طراحی کرد. همچنین مسائل پیچیده طراحی و ساخت را که با نرم افزارهای طراحی معمولی عملی نیستند، با نرم افزار MEMS+ قابل بررسی خواهد بود. می‌توان به سرعت طراحی‌های ترکیبی MEMS و IC را در محیط‌های طراحی MathWorks و Cadence بدون تلاش برای ساخت مدل‌های سفارشی با کمک نرم افزار MEMS+ تجزیه و تحلیل کرد. مدل سازی دقیق رفتار طرح‌ها بدون صرف زمان و هزینه ساخت و آزمایش دستگاه از قابلیت‌های نرم افزار MEMS+ می‌باشد.

نرم افزار SEMulator3D

نرم افزار SEMulator3D از مجموعه نرم افزارهای CoventorMP با شروع از داده‌های طراحی ورودی، یک توصیف جریان فرآیند یکپارچه را دنبال می‌کند تا معادل مجازی ساختارهای پیچیده سه‌بعدی ایجاد شده در fab را ایجاد کند.

Design (GDSII/OASIS) + Process Flows ===> SEMulator3D

ماژول‌های نرم افزار SEMulator3D

BEOL Interconnect

CMOS Devices

3D NAND Flash

MEMS/loT Devices

DRAM Arrays

More Emerging Devices

برای مشاهده اطلاعات کامل نرم افزار CoventorWare به منظور تحلیل مسائل میکروالکترومکانیکی (MEMS) به اینجا مراجعه کنید. در ادامه عکس هایی از محیط نرم افزار CoventorWare نشان خواهیم داد.