MEMS Introduction and Fundamentals کتاب سیستم های MEMS

هندبوک MEMS Introduction and Fundamentals

فناوری MEMS یا فناوری سیستم های میکرو الکترو مکانیکی، شامل بکار گیری سیستم های مکانیکی، حسگرها، عملگرها، محرک ها و قطعات الکترونیکی می باشد که معمولا بر روی یک صفحه ای از جنس سیلیکون با کمک فناوری ساخت تراشه‌های میکرونی ساخته می شود.

در واقع MEMS نوعی ریزفناوری‌ محسوب می شود که سیستم‌ های میکرو‌ الکترو مکانیکی در واقع قسمتی از قطعات مکانیکی، حسگرها، بازو های مکانیکی و دیگر اجرای الکترونیکی هستند. این ساختار، بسیار کوچک و در حد ابعاد میکرون  و بر پایه تکنولوژی تراشه‌ های الکترونیکی استوار می باشد.

این فناوری در صنایع مختلفی مانند خودرو سازی، موشک، تراشه‌ های الکترونیکی و حتیجدید کاربرد فراوانی دارد.

سرفصل های این هندبوک:

Introduction Mohamed
Scaling of Micromechanical Devices
Mechanical Properties of MEMS Materials
Flow Physics
Integrated Simulation for MEMS: Coupling
Flow-Structure-Thermal-Electrical Domains
Molecular-Based Microfluidic Simulation Models
Hydrodynamics of Small-Scale Internal
Burnett Simulations of Flows in Microdevices
Lattice Boltzmann Simulations of Slip Flow in Microchannels
Liquid Flows in Microchannels
Lubrication in MEMS Kenneth
Physics of Thin Liquid Films
Bubble/Drop Transport in Microchannels
Fundamentals of Control Theory
Model-Based Flow Control for Distributed Architectures
Soft Computing in Control

470 صفحه – 17 مگابایت

دانلود

   پسورد: engpedia.ir